리가쿠-도호쿠대, X선 계측 연구소 설립…반도체 등 차세대 기술 개발

리가쿠와 도호쿠 대학, X선 계측 위한 신규 연구소 설립 (사진= Rigaku Holdings Corporation 제공)

리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings)와 도호쿠 대학(Tohoku University)이 지난 2026년 8월 1일 도호쿠 대학 내에 ‘리가쿠-도호쿠 대학 X선 계측 공동창조연구소: 한계를 넘어’를 설립하고 본격적인 운영에 들어갔다.

이번 연구소 설립은 반도체 공정의 고도화에 따른 미세 구조 평가의 한계를 극복하고, 차세대 싱크로트론 방사선 시설인 ‘나노테라스(NanoTerasu)’를 활용한 첨단 계측 기술을 확보하기 위해 추진됐다. 양 기관은 향후 3년간 초기 협력을 진행하며 성과에 따라 기간을 연장할 계획이다.

연구소의 3대 핵심 목표

연구소는 기술 혁신과 인재 육성을 위해 다음 세 가지 과제에 집중한다.

항목	내용
기술 발전	나노테라스 활용 연X선 계측 및 데이터 분석 기술 개발
공동 연구	기존 기술로 해결이 어려운 광범위한 산업 분야 연구 수행
인재 양성	학점 인정 코스 도입 및 리가쿠 장학 제도 운영

산학협력의 새로운 모델

연구소 운영은 오모테 카즈히코 리가쿠 X선 연구소 총괄 책임자가 최고운영책임자(COO) 겸 특별임명교수를 맡고, 치바 다이치 도호쿠 대학 국제 방사광 혁신 스마트 센터 소장이 운영 지원을 담당한다. 연구소는 반도체용 연X선 계측 실용화와 정보과학 기반의 데이터 분석 기술 발전을 우선순위로 삼고 있다.

오모테 카즈히코 COO는 “X선 기술의 미개척 가능성을 실현하기 위해 차세대 인재들의 기여가 필수적”이라고 강조했다. 치바 다이치 소장 역시 “학문과 세대, 산학의 경계를 넘어 새로운 기술을 창출하는 플랫폼이 될 것”이라고 밝혔다.

출처 : Rigaku Holdings Corporation 보도자료(뉴스와이어)

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