종합 첨단장비 제조기업 아바코가 아바텍과의 협력을 통해 차세대 반도체 패키징용 유리기판 시장 진출에 속도를 내고 있다. 두 회사는 11일 유리기판의 TGV(Through Glass Via) 공정을 검증하기 위한 파일럿 라인(515x510mm) 운영을 시작했다고 밝혔다.
TGV 유리기판을 만들려면 안정적인 유리 소재 공급은 물론 레이저로 비아를 뚫는 가공 기술, 식각, 금속층 증착, 검사에 이르는 전 공정의 장비와 기술을 함께 갖춰야 한다. 개별 설비만으로는 사업화가 어려운 구조여서 양산 경험과 다양한 유리 소재 확보가 관건으로 꼽힌다. 아바코와 아바텍은 주요 유리 소재 업체들과 협력을 맺어 여러 종류의 유리를 확보했고, 올해 상반기 기준으로 TGV 공정 개발에 필요한 기초 인프라 구축을 마쳤다.
아바코는 2023년부터 TGV 관련 장비와 공정 기술 개발에 연구개발 인력과 자원을 투입해왔다. 이번 파일럿 라인에는 초당 1만홀 수준의 가공 속도를 갖춘 2세대 TGV 레이저 가공 장비와 알칼리계 식각액 기반 식각·시드 레이어 증착 장비, 결함을 검출하는 광학 검사장비 등이 투입됐다. 레이저 가공부터 식각, 증착, 검사로 이어지는 공정을 한 라인에서 연계해 운영하는 것이 이번 파일럿 라인의 핵심이다. 아바텍은 디스플레이용 유리 식각과 박막 공정에서 쌓은 양산 경험을 바탕으로 공정 운영과 안정성 검증을 맡고 있다.
양사는 올해 안에 레이저 가공과 시드 레이어 증착까지 적용된 유리기판 샘플을 우선 내놓고, 내년부터는 비아 충진과 평탄화 공정까지 포함한 메탈라이제이션 완료 샘플로 단계를 넓혀갈 계획이다. 해외 고객사들과도 기술·양산 관련 협의가 진행 중인 것으로 전해졌다. 개별 장비 성능뿐 아니라 반복 생산 시 품질 안정성까지 파일럿 라인에서 함께 검증하겠다는 구상이어서, 실제 양산 단계로 넘어가기까지는 공정 간 연계성 확보가 관건이 될 것으로 보인다.
아바코 관계자는 유리기판 시장에 진입하려면 개별 장비 개발을 넘어 전체 공정을 연계해 검증할 수 있는 기반이 필요하다며, 아바텍과의 협력을 통해 장비와 공정, 양산 운영 경험을 연결해 고객사가 요구하는 통합 솔루션을 구축해나가겠다고 말했다.
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