리가쿠 홀딩스(Rigaku Holdings Corporation)가 배터리, 반도체 소자, 첨단 소재 분석을 위한 고해상도 X선 컴퓨터 단층 촬영(CT) 시스템 ‘CT 랩 HR160(CT Lab HR160)’을 출시했다. 이번 신제품은 X선 기술 기업인 엑실럼(Excillum AB)과 공동 개발했다.
시스템 주요 사양 및 특징
CT Lab HR160은 리가쿠의 이미징 전문성과 엑실럼의 나노튜브 N3(NanoTube N3) X선 소스를 결합해 구현됐다. 최대 160kV로 작동하며 250nm의 유효 공간 분해능을 제공한다. 이는 기존 실험실용 CT 시스템으로 관찰하기 어려운 미세한 내부 구조를 비파괴 방식으로 3D 이미징할 수 있는 수준이다.
| 항목 | 내용 |
|---|---|
| 최대 작동 전압 | 160kV |
| 유효 공간 분해능 | 250nm |
| 주요 적용 분야 | 전고체 배터리, 반도체 소자, MLCC, 전력 전자 기기 |
활용 분야 및 기대 효과
콘빔(cone-beam) 기하학적 구조를 채택해 사용자가 X선 소스나 검출기를 교체하지 않고도 시야각과 분해능을 조정할 수 있다. 이를 통해 연구 개발 및 품질 평가, 불량 분석 과정에서의 조작 편의성을 높였다. 전자 부품의 초소형화와 고성능화 추세에 맞춰 정밀한 내부 검사 도구로서 활용될 전망이다.
오가타 기요시 리가쿠 제품 사업부 총괄은 “실험실 환경에서 고해상도 CT 기능을 제공해 연구와 품질 평가 전반의 신속한 의사결정을 지원하겠다”고 밝혔다. 사라 하크 엑실럼 최고사업책임자는 “이번 협력으로 첨단 산업의 R&D와 제조를 지원할 새로운 기회를 창출하게 됐다”고 설명했다.
출처 : Rigaku Holdings Corporation 보도자료(뉴스와이어)
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